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晶圆划片机有哪几种类型

泉源: 国产划片机 宣布时间:2024-04-01

晶圆划片机是半导体制造行业中主要的装备 ,用于将晶圆切割成单个芯片。凭证差别的切割方法和手艺 ,国产晶圆划片机可以分为以下几种类型:


1. 刀片划片机:

刀片划片机是最古板的晶圆划片装备 ,也是应用最普遍的一种。它接纳金刚石锯片或砂轮刀片切割晶圆 ,将晶圆切割成单个芯片。刀片划片机操作简朴 ,适用于晶圆切割的种种质料和形状。然而 ,刀片划片机保存崩边、晶片破损、划片线宽较大、切割速率慢等问题。


2. 激光划片机:

激光划片机接纳激光束对晶圆举行切割 ,是一种高精度、高效率的划片手艺。激光划片机使用激光光束的高能量密度和聚焦性 ,可以实现对晶圆的非接触式切割。激光划片机具有切割速率快、切割线宽小、切割效果平滑、不易破碎等优点。激光划片机适用于种种质料和形状的晶圆切割 ,并且可以举行重大形状的切割。


3. 超声波划片机:

超声波划片机使用超声波振动切割晶圆 ,将晶圆切割成单个芯片。超声波划片机具有切割速率快、切割线宽小、不会爆发热影响区等优点。超声波划片机适用于对脆性子料举行切割 ,如玻璃、硅等。


4. 水射流划片机:

水射流划片机接纳高压水射流对晶圆举行切割。水射流划片机具有切割速率快、切割线宽小、不会爆发热影响区等优点。水射流划片机适用于种种质料的切割 ,特殊适用于对硬脆质料的切割。

晶圆划片机有哪几种类型

5.砂轮划片机是一种常见的晶圆划片装备 ,普遍应用于半导体、太阳能、电子、汽车等领域。砂轮划片机接纳高速砂轮举行切割 ,适用于硬脆质料的切割。它具有以下特点和优势:


a 高速切割:砂轮划片机接纳高速旋转的砂轮举行切割 ,能够实现快速而准确的切割 ,提高了生产效率。


b. 切割精度高:砂轮划片机可以实现高精度的切割 ,切口平整、平滑 ,不会爆发过多的划伤和破损。


c. 顺应多种质料:砂轮划片机可以切割多种硬脆质料 ,如晶圆、硅片、miniLED、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、石英、QNF、电路板等。


d. 耐磨耐用:砂轮划片机选用高品质的砂轮质料 ,具有优异的耐磨性能和使用寿命 ,可长时间稳固运行。


e. 操作轻盈:砂轮划片机接纳先进的数控系统 ,具有人性化的操作界面和功效设置 ,操作轻盈利便。


砂轮划片机在半导体行业以及其他领域的晶圆划片工艺中施展着主要的作用。它能够快速、准确地将晶圆切割成单个芯片 ,知足差别生产需求。同时 ,砂轮划片机具有稳固性高、可靠性好等优点 ,能够提高生产效率、降低本钱 ,提升产品质量和市场竞争力。


以上是晶圆划片机的几种常见类型 ,每种类型的划片机都有其优弱点和适用规模。在选择晶圆划片机时 ,需要凭证现实需求和切割质料的特征选择适合的划片机。随着手艺的一直生长 ,晶圆划片机的类型也在一直更新和富厚 ,为半导体行业的生长提供了更多的选择。

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